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LT-9000 系列 表面扫描激光共焦位移计
型号： LT-9000 系列
品牌： 日本基恩士KEYENCE
产品描述
LT-9000 系列 分辨率高，适合高精度应用 极小的光点尺寸，使微小点测量成为可能 透明物体厚度测量应用共焦原理，可以对透明物体表面条件和厚度进行稳定的测量。 可使用振荡器对表面轮廓进行准确跟踪。 型号 LT-9501H LT-9001H LT-9501HSO(5654) LT-9001HSO(5655) 测量模块兼容性 测量模块无须工厂再校对即可互换 显示 最小显示单位 0.1 µm*1，1 µm2，0.01 ° 0.1 µm*1 显示范围 ±9，999.99 µm、±999，999 µm2、9，999.99 ° ±9，999.99 µm 显微镜功能 有 ― 有 ― 显示周期 10 次/sec*2 终端模块 模拟输出 ±10 V x 2 输出，输出电阻: 100 Ω 计时输入 无电压输入 复位输入 自动调零输入 显示器专用电源为 24VDC*3 控制器I／O 判定模式 3 步进限制输出 适用于 OUT1 (输出 1) , OUT2 (输出 2) 和 NPN 开路集电极输出*4 二进位模式 二进制输出 测量数据输出 (21 位), 可选择 OUT1/OUT2/PROFILE (输出 1/输出 2/外形) 选通脉冲输出 NPN 开路集电极输出*4 二进制选择器输出 二进制选择输入 无电压输入*4 稳定性输出 NPN 集电极开路输出 激光遥控输入 无电压输入 程序切换输入 无电压输入 x 3 输入 RS-232C 接口 测量数据输出和控制输入和输出 (最高可选择 115,200 位/秒 波德率) 视频输出 符合 NTSC 系统 (针式连接头) 主要功能 位移模式 距离测量、通明物厚度测量、角度测量、相关角度测量、表面选择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描宽度/间隔改变*5 距离测量、通明物厚度测量、表面选 形状模式 面积选择 (平均数、最大、最小、最大至最小、 ―*6 一般功能 光强聚积、显微镜 (LT-9501H, LT-9501HSO (5654))、公差判断、8 程序登录、 额定 电源电压 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz 额定值 功率消耗 最大 110 VA 环境抗耐性 污染等级 2 过电压类别 II 环境温度 0 至 +35 °C 相对湿度 35 至 85 % RH (无凝结) 重量 约 2.4 kg *1 显示每 ±0.3 µm 的变化。 型号 LT-9011M LT-9011 LT-9031M LT-9031 类型 高精度型 长范围型 检测范围 ±0.3 mm ±1.0 mm 参考距离 6 mm 30 mm 光源 类型 红色半导体激光 波长 655 nm 输出 170 µw (IEC 60825-1) /3.0 µw (FDA (CDRH) Part 1040.10) 激光分类 IIa 类激光产品 (FDA (CDRH) Part 1040.10) 光点直径 约 ø2 µm 约 ø7 µm 扫描宽度/间隔 0 至 1,100 µm (6 步进) /1 至 10 µm (4 步进) 0 至 560 µm (6 步进) /1 至 8 µm (4 步进) 分辨率 0.3 µm*1 线性度 F.S. 的 ±0.5 %*1 F.S. 的 ±0.3 %*1 采样周期 640 µs 至 356 ms (14 步进)*2 640 µs 至 187 ms (14 步进)*2 显示 最小显示单位 0.1 µm*3，1 µm2，0.01 ° 0.1 µm*3 显示范围 ±9，999.99 µm、±999，999 µm2、9，999.99 ° ±9，999.99 µm 显微镜功能 有 ― 有 ― 显示周期 10 次/sec*4 终端模块 模拟输出 ±10 V x 2 输出，输出电阻: 100 Ω 计时输入 无电压输入 复位输入 自动调零输入 显示器专用电源为 24VDC*5 控制器I／O 判定模式 3 步进限制输出 适用于 OUT1 (输出 1) , OUT2 (输出 2) 和 NPN 开路集电极输出*6 二进位模式 二进制输出 测量数据输出 (21 位), 可选择 OUT1/OUT2/PROFILE (输出 1/输出 2/外形) 选通脉冲输出 NPN 开路集电极输出*6 二进制选择器输出 二进制选择输入 无电压输入*6 稳定性输出 NPN 集电极开路输出 激光遥控输入 无电压输入 程序切换输入 无电压输入 x 3 输入 RS-232C 接口 测量数据输出和控制输入和输出 (最高可选择 115,200 位/秒 波德率) 视频输出 符合 NTSC 系统 (针式连接头) 显微镜功能 功能有无 兼容 N/A 兼容 N/A 视图栏 1.3 mm x 1.05 mm ― 2.5 mm x 2.0 mm ― 类型 有 无 有 无 照明光源 红外线 LED ― 红外线 LED ― 主要功能 位移模式 距离测量、通明物厚度测量、角度测量、相关角度测量、表面选择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描宽度/间隔改变*7 距离测量、通明物厚度测量、表面选 形状模式 面积选择 (平均数、最大、最小、最大至最小、 ―*8 一般功能 光强聚积、显微镜 (LT-9501H, LT-9501HSO (5654))、公差判断、8 程序登录、 温度特性 (20 至 30°C) F.S. 的 ±0.5% F.S. 的 ±0.25% 额定 电源电压 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz 额定值 功率消耗 最大 110 VA 环境抗耐性 污染等级 2 过电压类别 II 环境光照 白炽灯/荧光灯：10,000 lux 以下 环境温度 0 至 +35 °C 相对湿度 35 至 85 % RH (无凝结) 重量 约 400 g 约 500 g *1 测量的目标物是在位移模式下被测量的镜面表面物体，扫描宽度/间隔 120 µm/2 µm，和平均 8 次时的值。 型号 LT-C2*1 LT-C10*1 缆线长度 2 m 10 m 重量 约 200 g 约 700 g *1 能最多连接3 根缆线，总长为 20 m。表面扫描激光共焦位移计
特性
适用于任何可能目标物的高分辨率测量
轻松测量微观目标物
透明物体厚度测量
轮廓测量
NPN 开路集电极输出*4
择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描
宽度/间隔改变*6
面积) 面积计算、扫描宽度/间隔改变、反黑、
平滑、平均计算和形状数据输出*6
校准、平均计算、保持模式、自动归零、和界面语言选择
*2 根据设定而不同。
*3 监视器专用电源由 KEYENCE 指定。
*4 限制模式和二进制模式选择其一。
*5 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。
*6 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余
电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。
1 类激光产品 (IEC 60825-1)
NPN 开路集电极输出*6
(波长: 870 nm)
(波长: 870 nm)
择、反黑、屏蔽、趋势图显示和扫描
宽度/间隔改变*8
面积) 面积计算、扫描宽度/间隔改变、反黑、
平滑、平均计算和形状数据输出*8
校准、平均计算、保持模式、自动归零、和界面语言选择
*2 根据单个测量模式制造差异，取样周期也不同。当 FINE (精细) 模式设为 OFF (关闭) 时的值。
*3 显示每 ±0.3 µm 的变化。
*4 根据设定而不同。
*5 监视器专用电源由 KEYENCE 指定。
*6 限制模式和二进制模式选择其一。
*7 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。
*8 距离模式或形状模式选择其一 （距离模式仅有 LT-9501HSO (5654)/LT-9001HSO (5655)）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA (30 V 或 30 V 以下)，剩余
电压为 0.5 V。 无电压输出设定值为 ON (开启) 时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF (关闭) 时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。